回路电流法(Four-Point Probe)是一种高精度、高效的物质导电性测试方法,广泛应用于半导体、薄膜材料制备及表征等领域。 回路电流法是在一定压力下通过测试对象施加电量,同时在测试对象一定区域内选定四个电极(最好能够使四个电极对称),由此将电流注入物质中,在不影响测试区域加电的前提下,利用电极间电压差来推导出物质电阻率,从而得到物质导电性质。 回路电流法与其它测试方法相比,最大的优势是消除了电极接触电势的干扰,从而极大地提高了测试的准确性。 回路电流法被广泛应用于半导体材料、薄膜、金属等材料的导电性能测试,其测试结果广泛参与半导体的研究、生产过程、质量控制等领域,具有不可替代的作用。
回路电流法作为一种高精度、高效的物质导电性测试方法,在材料表征和性能测试方面应用广泛,对半导体领域具有极大的意义,可望在未来的半导体领域中得到进一步的发展和应用。